矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）的校準(zhǔn)是確保測量結(jié)果準(zhǔn)確性和可靠性的關(guān)鍵步驟。以下是矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)的詳細(xì)步驟和原理：

校準(zhǔn)原理

矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的校準(zhǔn)原理基于反射法和傳輸法。反射法利用校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件在測試端口的反射特性，測量VNA的反射響應(yīng)，并根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)件的特性調(diào)整測試端口的校準(zhǔn)參數(shù)。傳輸法則利用校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件在測試線的傳輸特性，測量VNA的傳輸響應(yīng)，并根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)件的特性調(diào)整測試線的校準(zhǔn)參數(shù)。

校準(zhǔn)方法

• 反射校準(zhǔn)（Reflect Cal）：用于校準(zhǔn)VNA的S11參數(shù)，即測試端口的反射系數(shù)。
• 傳輸校準(zhǔn)（Transmission Cal）：用于校準(zhǔn)VNA的S21和S12參數(shù)，即測試線的傳輸系數(shù)。
• 混合校準(zhǔn)（Mixed Mode Cal）：用于同時(shí)校準(zhǔn)VNA的S11、S21、S12和S22參數(shù)。

常用校準(zhǔn)方式

• SOLT校準(zhǔn)：通過短路（Short）、開路（Open）、負(fù)載（Load）、直通（Through）四項(xiàng)共七次校準(zhǔn)，來消除12項(xiàng)系統(tǒng)誤差。
• TRL校準(zhǔn)：通過測量2個(gè)傳輸標(biāo)準(zhǔn)件和一個(gè)反射標(biāo)準(zhǔn)件來決定8項(xiàng)誤差模型。
• AFR（自動夾具移除）：對于非同軸測試系統(tǒng)，使用簡單的校準(zhǔn)件（直通或開路），基于時(shí)域選通（Gating）和信號流圖計(jì)算提取夾具模型，從整體測量中去嵌掉。

校準(zhǔn)步驟

1. 準(zhǔn)備校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件：選擇合適的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件，如開路、短路、負(fù)載和線段等。
2. 設(shè)置校準(zhǔn)類型：根據(jù)需要選擇反射校準(zhǔn)、傳輸校準(zhǔn)或混合校準(zhǔn)。
3. 連接校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件：按照校準(zhǔn)類型的要求，依次連接校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件到測試端口或測試線兩端。
4. 開始校準(zhǔn)：在VNA的菜單中選擇開始校準(zhǔn)命令，VNA將自動進(jìn)行校準(zhǔn)。
5. 驗(yàn)證校準(zhǔn)：校準(zhǔn)完成后，連接合適的校準(zhǔn)驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)件，并測量其反射和傳輸響應(yīng)以確保校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

通過以上步驟，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的校準(zhǔn)可以確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，從而在各種應(yīng)用場景中提供精確的測量數(shù)據(jù)。