參數(shù)分析儀是一種多功能的測試儀器，能夠執(zhí)行電流-電壓（IV）、電容測量（CV）等多種測量和分析功能。以下是其主要技術指標：

• 測量功能：在0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V范圍內(nèi)執(zhí)行精確的電流-電壓（IV）測量，支持點測量、掃描測量、采樣和脈沖測量。在1 kHz - 5 MHz頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測量，支持準靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量的脈沖 IV 測量和超快 IV 測量，低采樣間隔為5 ns（200 MSa/s）。
• 測量精度：電容測試精度（1 pF，1 MHz）±1.2%。
• 分辨率：SMU模塊最小測量分辨率為：電流50 fA，電壓0.5 μV。
• 其他特性：高達40 V的高壓脈勢，適用于非易失存儲器測試。

這些技術指標共同決定了參數(shù)分析儀的性能和適用范圍，對于用戶選擇合適的參數(shù)分析儀至關重要。